射频探针开发于1980年，在此之前，由于没有一种能够在无需安装或贴合状态下对单片微波集成电路（MMIC）装置进行测试的简便方法，因此测试过程常常使得电路完整性遭到破坏，引发系统干扰或降低电力负载。第一代射频探针采用共面陶瓷馈电，覆盖18 GHz以内频段。随着射频探针技术的发展，现代通信电子设备中所使用的是配置弹簧加载式内外导体的射频同轴探针。如今，射频同轴探针仍然是射频开关、印刷电路板射频迹线、终端器件以及其他射频元器件测试中必备的重要工具。60~80 GHz毫米波频段消费级产品包括汽车雷达系统、WiGig标准测试和合规性验证、无线HDMI以及高性能LAN。